応用例 :クリーンルーム・真空内搬送用機械の動力伝達部分
クリーンルームや真空内での搬送装置の動力伝達部にお使いいただけます。 非接触ですので発塵や振動・発熱がなくオイルも不要。クリーン度がより求められる環境での使用に最適です。
◆プロスパインマイタMPシリーズ(円盤×円筒) 搬送例

クリーンルーム用搬送機

カーブ搬送機
◆リニアスライダー搬送例

半導体装置用搬送機構
実際に稼動している様子を動画でご確認いただけます。
◆クリーニングローラー回転機構への活用(特許取得済み)
(お客様との機密保持のため、写真の公開は差し控えさせていただきます)